電子與晶圓產業首選-防靜電吸盤/抗靜電吸盤(ESD吸盤)

靜電放電(ESD)介紹
靜電產生原因：摩擦、剝離、感應..等
機制：物質因失去或得到電子而帶電

ESD的三種模式比較
抗靜電級，可以分為以下三個等級
一、基本抗靜電級
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE)：10的9次方到10的12次方Ω
二、抗靜電級(靜電消散)
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE)：10的6方到10的9次方Ω
三、導靜電級
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE)：10的4次方到10的6次方Ω
依據國際規範IEC 1340-4-1規定，防靜電材料為10的6方到10的9次方Ω

為什麼需要抗靜電(靜電消散)級？
人員走動或磨擦，是產生靜電之主要來源，靜電過量累積，會造成人員觸電或造成精密設備之誤差或損壞。
例：現代化之辦公室室內空間幾乎為中央空調設備，全天候使用空調會讓空氣更乾燥，這樣會造成靜電容易產生、聚集且不易消散。
為什麼需要導靜電級?
在高精密度之室內，如晶圓生產線、開刀房、彈藥庫…等，靜電不可聚集之場所，必需經由導靜電級材料宣洩靜電，以避免發生危險。
例：開刀時醫生需要監看各種精密儀器指數，若電腦、儀器因受靜電干擾而讀數不正確，可能導致醫生誤判，造成不可挽回的錯誤。
結論：
抗靜電級(靜電消散)：適合用於辦公室、學校、醫院、各種公共場所之室內、工廠辦公室、製造加工廠房。
導靜電級：適合開刀房、彈藥庫房、IC設備、晶圓生產線等的精密廠房。

加耐力(CNL)可提供的抗靜電材料共分兩種：
一、導靜電級
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE):10的4次方到10的6次方Ω
二、抗靜電級(靜電消散)
表面阻抗值(SURFACE ELECTRIC RESISTANCE):10的6方到10的9次方Ω

材質部份我們可提供有以下兩種選擇：
一、Silicon矽膠(硅胶)
二、NBR丁腈橡膠(布納橡膠 Bunan)

加耐力(CNL)在製造與生產後，都會用專業的表面電阻測量儀器，來做材料與成品的檢驗，以符合以上兩種等級的需求。
而這些抗靜電材質，目前廣泛的使用於真空吸盤(Vacuum pads、吸嘴)上，以防止在產線吸取過程中產生靜電，導致產品毀損。