材質與技術分享/ Material

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電子工業的殺手『靜電』

靜電產生的方式很多,如接觸、磨擦、衝流等等。
過程可歸納為:接觸→ 電荷→ 轉移→ 偶電層形成→ 電荷分離。
設備或人體上的靜電最高可達數万伏以至數十萬伏,在正常操作條件下也常達數百至數千伏。
人體由於自身的動作及與其它物體的接觸-分離、磨擦或感應等因素,可以帶上幾千伏甚至上萬伏的靜電。
靜電是正、負電荷在局部範圍內失去平衡的結果。
它是一種電能,留存在物體表現,具有高電位、低電量、小電流和作用時間短的特點。

靜電放電引起的元器件擊穿損害是電子工業最普遍、最嚴重的靜電危害,它分硬擊穿和軟擊穿。
一、硬擊穿是一次性造成元器件介質擊穿、燒毀或永久性失效。
二、軟擊穿則是造成器件的性能劣化或參數指標下降。

磨擦起電和人體靜電是電子、微電子工業中的兩大危害源,危害在於靜電積累及由此產生的靜電電荷放電,因此必須予以控制。
由於靜電的力學效應,空氣中的浮游的塵粒會吸附到矽片等電子元器件上,嚴重影響電子產品的質量,因此,對淨化工作空間必須採取防靜電措施。
靜電防護工作是一項系統工程,任何環節的疏漏或失誤,都將導致靜電防護工作的失敗,必須時時防範,人人防範。

如果本身是製造電子或晶圓零件的產品,建議可使用『防靜電吸盤/抗靜電吸盤(ESD吸盤)』,避免在製作或運送過程造成產品的損壞或短路。
目前加耐力(CNL)已經配合許多晶圓或電子零件大廠使用抗靜電吸盤,並獲得很大的改善。
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